真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。由于氢气比空气轻，所以泄漏出来的氢气都会沿着管道等部件往上跑，并且可以穿透保温材料，使用者可以在部件1高位置进行检漏，比采用其他方式查找漏点要容易得多，成功率也高很多。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多 氢气检漏的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。

真空设备检漏

北京科仪创新真空技术有限公司（简称：科仪创新）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。科仪创新产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；世界领1先水进的声学技术真空打检机/真空检漏机当容器经过探头时，探头在容器顶部施加一个“非接触式”的敲击动作，使容器顶部发出声音，不同真空度的容器会发出不同的声音，先进的声学技术根据声音来判断容器是否发生泄漏。系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。

如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将设备完全抽成真空状态,往往会增加试验用设备（如高、低压真空泵、真空阀等）和设备工装（如外压加强圈）而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备。详细检漏方法与测量工作过程如下：

在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率）。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。以上内容由北京科仪创新真空技术有限公司为您提供，今天我们来分享的是氢气检漏设备的相关内容，希望对您有所帮助。如果需要得到精que的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，

并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的

位置，可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。

与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气，

封闭测试端口，将嗅探探头连接至检漏仪，用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的，大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。氢气检漏法的工艺和方法批量生产的用户采用上述控制器进行示踪气体的充注，达到收到压力后控制器会给出提示，这时操作人员即可进行检漏操作，然后通过控制器把气体排出。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。